真空退火炉是一种在真空或保护气氛环境中实施金属材料退火处理的专用设备,通过无氧化加热+可控冷却消除材料内应力、改善晶粒结构。广泛应用于航空航天、半导体电子、医疗器械、汽车制造、新材料冶金及工具模具等行业
1.多气氛兼容,可通入惰性气体(如N₂、Ar)、氧化性气体(如O₂)或混合气体,满足不同工艺需求(如烧结、退火)
2.高温范围700℃-1700℃可选
3.密封性强,保证真空和气氛稳定性
4.智能控制,可编程多段升温曲线,存储多组工艺参数,实时监控温度
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系列
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有效容积
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最高温度
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加热元件
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炉膛深度
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真空度
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气氛
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RGT
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64L-343L可选
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1700℃
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硅钼棒
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400-700MM
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-0.1MPA
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N2/O2/Ar等
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