高端元器零件
高端元器零件是电子装备的“工业基石”，聚焦高精度、微型化、长寿命三大方向，包括光刻机镜头、MEMS惯性传感器、高纯溅射靶材等。技术突破点纳米级制造，EUV光刻机采用多层膜反射镜，面形精度达0.1纳米；应用覆盖5G基站（射频滤波器）、医疗设备（MEMS人工耳蜗）及国防（相控阵雷达TR组件）。
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