CVD回转炉

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设备概述

CVD回转炉是一种通过气相化学反应在粉体或基材表面沉积涂层的高温设备，结合旋转动态加热与精确气氛控制，广泛应用于新能源、半导体、粉末冶金等领域的高性能材料制备

产品特点

1.倾斜式旋转炉管（不锈钢/石英/刚玉），动态烧结，物料反应均匀
2.电加热方式（电阻丝/硅碳棒），多温区设计，控温更精准
3.灵活气氛控制（如：氮气、硅烷、乙炔等），适应不同材料需求
4.模块智能化，炉管内部微正压，设有机械泄压阀，安全系数高

 

最高温度

控温精度

加热元件

炉管转速

生产方式

1400℃

±1℃

电阻丝/硅碳棒

0.5-8rpm可调

实验/间歇式
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